测量方式

菲索干涉原理

移相方式

波长移相或机械移相

主机波长

632.8nm  (可定制)

主相机分辨率

2048*2048

测量口径

4-inch(101.6mm)

主相机调焦能力

有

主相机采集速度

50Hz

透射平面参考镜面形误差(PV)

λ/10

反射平面参考镜面形误差(PV)

≦ λ/10(可定制 λ/20)

空腔精度(PV)

≦ λ/10， λ=632.8nm

面形误差测量重复性(RMS)

≦ 1nm  (2δ)

测量高平行度光学元件透、反射波前

支持

标准配件

计算机 、条纹监视及分析软件

相干长度

1.0m  (若被扩束，此参数会变长)

工作温度要求

22℃ ±1℃

工作温度波动要求

每小时变化小于 1℃

工作湿度要求

55%±10%RH

隔震要求

气浮平台，固有频率：1-2Hz

工作电压

AC 110-220V,50/60Hz